晶圆用变形机 RCL-8000/16000

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应用: 晶圆用

产品介绍

吞吐量：8000-16000 硅片/小时破片率：≤0.02%（对于 M10 尺寸以上的硅片）正常运行时间>98% 特点用于 TOPCon、BC、HJT 高效太阳能电池的背面清洁去除 PSG/BSG 优异的均匀性，镀槽使用寿命长高产量，低 CoO 快速换槽，在线换槽智能设备，能耗统计和分析功能工艺精湛：适用于 156-220 毫米硅晶片

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