TXRF 3800e
TXRF分析在所有很好的过程中可能测量污秽,包括清洁、litho,铭刻,变成灰烬,影片等等。TXRF 3800e可能测量元素从与一个单一目标,双重射线X-射线系统和一个新的液体氮气自由的探测器系统的S至U。
TXRF 3800e包括Rigaku的专利审理X-Y-θ样品阶段系统、真空薄酥饼机器人转换系统和新的用户友好的窗口软件。所有这些造成更高的生产量,高精确度和精确度和容易的常规工作。
任意广泛TXRF软件使映射在薄酥饼表面的污染物发行辨认“热点”—调零边缘排除。
所有这些特点在一个新,紧凑和高效率的设计被安置。所有维护的通入在前后是通过盘区,那么其他清洁的房间设备也许在TXRF 3800e旁边被安置。这代表在昂贵的清洁的房间空间的大储款。
特点
操作方便和迅速分析结果
接受200 mm和更小的薄酥饼
归属的低成本
紧缩设计,脚印
被密封的X光射线管来源
大范围分析元素(S~U)
露出Si的应用和对非Si基体
零的边缘排除(ZEE-TXRF)测量能力
进口测量从瑕疵为继续采取的行动分析的检查工具协调
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