荧光光谱仪 TXRF 3800e

全反射X荧光工艺流程紧凑型

TXRF 3800e TXRF分析在所有很好的过程中可能测量污秽，包括清洁、litho，铭刻，变成灰烬，影片等等。TXRF 3800e可能测量元素从与一个单一目标，双重射线X-射线系统和一个新的液体氮气自由的探测器系统的S至U。 TXRF 3800e包括Rigaku的专利审理X-Y-θ样品阶段系统、真空薄酥饼机器人转换系统和新的用户友好的窗口软件。所有这些造成更高的生产量，高精确度和精确度和容易的常规工作。 任意广泛TXRF软件使映射在薄酥饼表面的污染物发行辨认“热点”—调零边缘排除。 所有这些特点在一个新，紧凑和高效率的设计被安置。所有维护的通入在前后是通过盘区，那么其他清洁的房间设备也许在TXRF 3800e旁边被安置。这代表在昂贵的清洁的房间空间的大储款。 特点 操作方便和迅速分析结果 接受200 mm和更小的薄酥饼 归属的低成本 紧缩设计，脚印 被密封的X光射线管来源 大范围分析元素(S~U) 露出Si的应用和对非Si基体 零的边缘排除(ZEE-TXRF)测量能力 进口测量从瑕疵为继续采取的行动分析的检查工具协调