TXRF 3760
TXRF分析在所有很好的过程中可能测量污秽,包括清洁、litho,铭刻,变成灰烬,影片等等。TXRF 3760可能通过与一个单一目标,3射线X-射线系统和一个液体氮气自由的探测器系统的U测量从Na的元素。
TXRF 3760包括Rigaku的给予专利的XYθ样品阶段系统、真空薄酥饼机器人转换系统和新的用户友好的窗口软件。所有这些造成更高的生产量,高精确度和精确度和容易的常规工作。
任意广泛TXRF软件使映射在薄酥饼表面的污染物发行辨认“可以自动地被重新测量在更高的精度的热点”。
任意ZEE-TXRF能力克服原始的TXRF设计历史15 mm边缘排除,使测量用零的边缘排除做。
特点
操作方便和迅速分析结果
接受200 mm和更小的薄酥饼
紧缩设计,脚印
威力强大的转动阳极来源
大范围分析元素(Na~U)
轻元素敏感性(为Na、Mg和Al)
露出Si的应用和对非Si基体
进口测量从瑕疵为继续采取的行动分析的检查工具协调
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