增量旋转编码器 TONiC™ UHV REXM20

光学非接触式模拟

什么是TONiC UHV？ TONiC UHV是雷尼绍向超高真空应用领域推出的超小型非接触式光栅系统，可为客户提供更强的运动控制性能。 TONiC的速度高达10 m/s，与Ti接口结合使用，其在线性和旋转应用中的分辨率均达到1 nm。由于安装公差大，并且只需按下按钮即可进行校准，因此TONiC系统的安装快捷简单。TONiC的动态信号处理功能可提高信号稳定性，而且电子细分误差超低，通常小于±30 nm，从而有助于实现卓越的运动控制性能。 什么是REXM20圆光栅？ REXM20为一体式不锈钢圆光栅，其柱面上直接刻有20 µm栅距的增量式刻线，并具有IN-TRAC™光学参考零位。它的截面较大，能够减少除了偏心之外的所有安装误差，而偏心则可使用一个DSi（双信号接口）和两个读数头轻松修正。REXM20的总体安装精度为±1角秒，零联接误差，而且还具有优异的重复精度。 它提供多种尺寸（直径从52 mm到417 mm）和刻线数，所有这些都具有内径大、安装灵活的特点。非接触形式消除了传统封闭式光栅固有的反向间隙、扭转误差（扭变）及其他机械滞后误差。