增量线性编码器 TONiC™ UHV RSLM20

光学非接触式模拟

什么是TONiC UHV？ TONiC UHV是雷尼绍向超高真空应用领域推出的超小型非接触式光栅系统，可为客户提供更强的运动控制性能。 TONiC的速度高达10 m/s，与Ti接口结合使用，其在线性和旋转应用中的分辨率均达到1 nm。由于安装公差大，并且只需按下按钮即可进行校准，因此TONiC系统的安装快捷简单。TONiC的动态信号处理功能可提高信号稳定性，而且电子细分误差超低，通常小于±30 nm，从而有助于实现卓越的运动控制性能。 什么是RSLM20栅尺？ RSLM20是一种栅距为20 µm的不锈钢直线硬栅尺，其具有多种IN-TRAC光学参考零位，包括供客户选择的固定间距参考零位，以及位于栅尺中央或者端部的单个参考零位。 它可与精细栅距的玻璃栅尺媲美，在5 m长度内的总体精度（包括斜率误差和线性误差）优于±4 µm。它可以方便地成卷存放，一旦展开，就可以像直线栅尺一样使用。 系统设计人员可根据要求选择背面自带的特殊配方不干胶带或用机械夹具进行安装。两种安装方式都有助于使栅尺不受基体热膨胀影响。