增量线性编码器 TONiC™ UHV RELM20

光学非接触式模拟

什么是TONiC UHV？ TONiC UHV是雷尼绍向超高真空应用领域推出的超小型非接触式光栅系统，可为客户提供更强的运动控制性能。 TONiC的速度高达10 m/s，与Ti接口结合使用，其在线性和旋转应用中的分辨率均达到1 nm。由于安装公差大，并且只需按下按钮即可进行校准，因此TONiC系统的安装快捷简单。TONiC的动态信号处理功能可提高信号稳定性，而且电子细分误差超低，通常小于±30 nm，从而有助于实现卓越的运动控制性能。 什么是RELM20栅尺？ RELM20是用ZeroMet™（一种低膨胀镍/铁合金）制造的直线硬栅尺，栅距为20 µm。 它可与精细栅距的玻璃栅尺媲美，在1.5 m长度内的总体精度（包括斜率误差和线性误差）优于±1 µm。ZeroMet在20 °C时的热膨胀系数为0.75 ±0.35 µm/m/°C。 系统设计人员可根据要求选择背面自带的特殊配方UHV兼容不干胶带或用机械夹具进行安装。两种安装方式都有助于使栅尺不受基体热膨胀影响。