在非真空环境下使用任何激光尺系统时,都要求某些形式的环境补偿来维持各种环境条件下的精度。干涉测量的原理取决于激光的波长,该值会根据传播激光的空气的折射率而产生微小变化。
±1 °C的气温变化、±3.3 mbar的气压变化或者50%相对湿度变化,这些环境变化会使激光波长和测量结果之间产生1 ppm的差异。
RCU10单元的输入和输出参数使用雷尼绍配置软件 (RCU-CS) 进行配置。可通过此页面底部的链接进行下载。
特性与优点
精度 — 采用气压和温度传感器对激光尺进行折射率补偿,可将精度提高到±1 ppm以内。
生产率提高 — 利用材料温度传感器对工件和机器的热膨胀影响进行补偿,可极大提高加工重复精度。
灵活性 — RCU10可对多种输出数字正交反馈信号的激光尺和直线光栅进行环境补偿。