增量旋转编码器 TONiC™ UHV RESM20

光学非接触式模拟

什么是TONiC UHV？ TONiC UHV是雷尼绍向超高真空应用领域推出的超小型非接触式光栅系统，可为客户提供更强的运动控制性能。 TONiC的速度高达10 m/s，与Ti接口结合使用，其在线性和旋转应用中的分辨率均达到1 nm。由于安装公差大，并且只需按下按钮即可进行校准，因此TONiC系统的安装快捷简单。TONiC的动态信号处理功能可提高信号稳定性，而且电子细分误差超低，通常小于±30 nm，从而有助于实现卓越的运动控制性能。 什么是RESM20圆光栅？ RESM20为一体式不锈钢圆光栅，其柱面上直接刻有栅距为20 µm的刻线，并具有IN-TRAC™光学参考零位。两种型号有多种尺寸可供选择（直径52mm到550mm）。“A”截面圆光栅安装精度极佳，且具有锥面安装系统，可减少对公差要求高的加工零件的需求，并消除偏心。还提供“B”截面薄圆光栅，其转动惯量与质量均较低。“A”截面圆光栅和“B”截面圆光栅的内径都比较大，可在UHV应用中灵活安装。非接触形式消除了传统封闭式光栅固有的反向间隙、扭转误差（扭变）及其他机械滞后误差。