湿式加工线 BatchTex®

用于太阳能电池

高端产品实现一流太阳能电池效率 RENA 提供同类最佳的批量处理型加工解决方案，适合制绒、刻蚀与清洁应用。RENA Batch N 技术推动高效太阳能电池技术。 RENA BatchTex® N 制造设备是无、高产能、最优质碱性单晶硅（mono-Si）制绒工艺的首选解决方案。RENA monoTEX® 工艺技术确保高级制绒效果，RENA BatchTex® 是业界最常使用的解决方案。该设备基于 RENA Batch N 平台。 RENA BatchEtch N 自动化处理设备用于硅太阳能电池的批次式刻蚀工艺。根据客户要求，可提供碱性与酸性工艺。清洁步骤也可集成至工具内。该设备基于 RENA Batch N 平台。 由 RENA 优化的多晶硅蚀刻和清洗。 BatchPolyClean 显着提高了效率和最佳工艺性能。该系统兼容从 M0 到 G13 的各种晶圆尺寸以及大容量晶圆盒。因此，它的吞吐量显着增加，达到每小时 15,000 片晶圆，同时显着降低总体拥有成本。 RENA BatchPolyClean 为太阳能行业中 TOPCon 电池的多晶硅去除、分流蚀刻和后续高性能清洁设定了新标准。 RENA BatchClean N 自动化处理设备用于硅太阳能电池的批次式清洁工艺。根据客户要求，可提供众多碱性与酸性工艺。该设备基于 RENA Batch N 平台。