太阳能电池加工线 InOxSide®

化学湿式

RENA InOxSide® 3 自动化处理设备设计为用于边缘隔离、背面抛光和去除硅太阳能电池掺杂玻璃的综合解决方案。使用该工艺实现最低运营成本和最佳成效，InOxSide® 技术是制造 Al-BSF、PERC 和 PERT 硅太阳能电池的最佳之选。其基于 RENA NIAK 链式平台。 特点和优势 采用 5/6 道链式工艺的全自动湿法化学单面刻蚀 单面发射极刻蚀、背面抛光与去除掺杂玻璃 (PSG/BSG) 使用 HF/HNO3/H2SO4 进行单面刻蚀，实现同类最佳运营成本 (CoO) RENA 专利技术 可调型背面刻蚀：1 至 5 µm，使用 RENA PreCon 选项最高达 6 µm 集成冲洗与干燥晶圆 产能高达 6000 片/小时 可相容 M0、M1、M2、M4、M6 与 M12 硅片尺寸 借助 Bleed + Feed（分供）功能延长蚀槽寿命 精确的计量系统，实现稳定的槽液组成 使用无 O 型环辊设计 破损率业界最低 基于 RENA NIAK 链式处理平台 运行时间长 易于维护