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异丙酮干燥机 VaporDry 分批冲洗清洁
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产品规格型号
- 所用技术
- 异丙酮
- 分批/连续
- 分批
- 其他功能
- 清洁, 冲洗
产品介绍
RENA 蒸汽干燥机集成 IPA 干燥工艺、清洁与冲洗，实现一站式工艺。它代替高深宽比特征与 TSV 中的水，有效干燥及复杂的表面，而且可集成至 RENA 溶剂浸洗平台。整个工艺由 RENA 专属 IDX 工艺控制软件监控与控制。
特点与优势
FEOL 与 BEOL 晶圆干燥
干燥疏水与亲水表面，无静摩擦损伤
离子污染级别 < 1E10
0.12μm 级的颗粒量 750um 深
IPA 蒸汽冷凝器，用于 IPA 回收
借助 IDX Flexware 实现高级性能与工艺控制
CE 认证
