清洁干燥机 Genesis

喷雾式分批冲洗

RENA Genesis Marangoni 干燥机集成干燥、清洁与冲洗，实现一站式工艺。借助 RENA Genesis Marangoni 干燥机干燥晶圆，应用晶圆提拉器与集成倾斜功能的专属设计，确保晶圆面在干燥循环中不会接触特氟龙片盒。倾斜功能同样尽量减少晶圆背面的基础。Genesis Marangoni 干燥机兼容纯硅、SiO₂、GaAs、Ge、蓝宝石以及玻璃晶圆。整个工艺由 RENA 专属 IDX 工艺控制软件监控与控制。 改善产量并减少颗粒，RENA Marangoni 干燥机性能出众 特点与优势 手动装载片盒或可选机器人自动化晶圆处理 特氟龙片盒 干燥后基片无水痕 在干燥之前实现化学清洁，无空气接触 干燥工艺期间，不会损坏敏感的光刻胶层 120 nm 级的颗粒量 < 50 干燥疏水与亲水表面 未旋转水流 组合 O3、HF 或 HCl 喷射用于严格洁净应用，实现高品质表面 HF 最末应用 典型循环时间 7 至 20 分钟 借助 IDX Flexware 实现高级性能与工艺控制 主机兼容 集成去离子水过滤选项 可选化学喷射 IPA 用量少（每次干燥循环 ≤ 20ml） 可选 IPA 再循环，实现更可靠的颗粒效果 面向 50-200 mm（2 至 8 英寸晶圆）尺寸的晶圆解决方案 CE 认证