冲洗干燥机 COMPASS SRD

喷雾式喷嘴式

RENA COMPASS 旋转冲洗干燥机是一流的晶圆干燥机，用于冲洗之前工艺步骤的残留物，然后干燥晶圆。专有设计与技术搭配 CDA 用于非工艺功能，使氮气使用的停歇时间减少 50%。RENA COMPASS SRD 系列设计旨在减少运行成本，同时超越现有洁净度、干燥度及颗粒规范，带来目前 SRD 配备的先进功能。整个工艺由 RENA 专属 IDX 工艺控制软件监控与控制。 特点与优势 湿进干出工艺 低颗粒量 优越的振动和静电控制 10 喷嘴去离子水喷淋组 氮气加热器和温度监控设定点可编程 可编程型盆体包裹（Bowl Blanket）加热器和温度监控 无刷 DC 电机，附有 RPM 及位置控制编码器 电阻率监视器 转子用于高/低剖面片盒 50-300mm（2 至 12 英寸晶圆），还有针对特殊应用的掀开式抓手 借助 IDX Flexware 实现高级性能与工艺控制 10.4 英寸彩色触控屏用户界面 主机通讯 遵循 FM4910 标准 CE 认证 提供台式、独立式和双独立式（粉末喷涂与不锈钢型）