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喷洒清洁系统 SST 溶剂式工艺流程
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产品规格型号
- 技术
- 喷洒, 溶剂式
- 应用
- 工艺流程
产品介绍
溶剂清洗、抗蚀剂剥离和显影过程的应用，包括冲洗和干燥，都能高效地进行。RENA 喷涂批处理系统专为溶剂而设计。不同类型的溶剂可在一个腔室中混合使用；这为提高效率和优化工艺提供了巨大的潜力。操作员不会直接接触溶剂，从而保证了工艺的安全性。
特点和优点
减少介质消耗
优化的占地面积
单盒或双盒处理
可维护性高，易于接近
SECS/GEM 接口选项
灵活、可升级
提高操作员的用户安全性
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