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喷洒清洁系统 SAT 工艺流程蚀刻
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产品规格型号
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产品介绍
湿法化学清洁与蚀刻工艺应用运行十分高效，包括冲洗及干燥。RENA 批量喷淋系统设计用于酸与碱。单室可组合多达五道工艺；这带来巨大的效率与工艺优化潜力。操作员不会直接接触化学品，保障工艺安全。
特点与优势
降低介质消耗
优化占用面积
单或双片盒处理
高度耐用，便于接近
SECS/GEM 界面选项
灵活可升级
提升操作员用户安全
