浸入式湿式工作台 Advancer

分批用于半导体晶圆

"Advancer”平台的湿法处理系统经过实践考验，是耐用的一站式解决方案。配置轻松，一种工艺与一个冲洗槽以及侧壁线性机器人应用。所有半导体工艺均可集成，走在时代前沿。Advancer 占地空间小，十分便于维护。IDX Flexware 软件中有众多有助于工艺控制及监控的功能。所有 RENA 系统皆可用，符合工厂设备的 SECS/GEM 界面。 提供三款“Advancer”系统：Gemini、Classic 和 Micro。 特点与优势 干对干能力 一站式工艺与冲洗设计 单或双片盒处理 50 mm 至 200mm 晶圆尺寸 150 与 200 mm 处理，无变更 IDX Flexware 工艺控制软件 直观型 HMI 触控屏 高度耐用，侧装型机器人 SECS/GEM 界面选项 灵活可升级 依据客户规范量身打造