浸入式湿式工作台 Revolution

分批用于半导体晶圆

湿法处理系统“Revolution”是高度灵活的多步骤湿法工作台。可根据任意半自动应用轻松配置。“Revolution”平台可在其中央旋转机器人四周提供多达 5 个工艺槽。 对于您的应用来说，这是需要多步骤序列之工艺的低成本理想解决方案。IDX Flexware 软件中有众多有助于工艺控制及监控的功能。借助耐用的集成式旋转机器人系统，RENA 专用工艺槽配置打造出强大的多功能平台。 RENA 设备始终关注如何减少占用空间，当然前提是一切都还需便于维护。“Revolution”亦为干进和干出处理提供 RENA 干燥解决方案——Genesis Marangoni 干燥。 所有 RENA 系统皆可用，符合工厂设备的 SECS/GEM 界面。 特点与优势 干对干能力 100 mm 至 200mm 晶圆尺寸 IDX Flexware 控制软件 多步骤序列 多项专有技术 HMI 触控屏 耐用的旋转机器人 SECS/GEM 界面选项 可选微环境 不锈钢款适合溶剂应用 灵活可升级 依据客户规范量身打造 减少化学品与去离子水使用 降低设备成本