浸入式湿式工作台 Evolution

分批自动化用于半导体

湿法处理系统“Evolution”是全自动化线性半导体湿法工作台。模块化结构非常灵活，可根据工艺序列轻松配置。 Evolution 的主要特点在于，实现高产量的同时保持低运行成本。全自动设计具有多个同步批次批量处理的干进与干出处理。 “Evolution”控制的优势在于 IDX Flexware 软件，成为业界先进的湿法处理系统之一。 独特的先进特征与能力，包括通过 RENA“计划表”、FlexView（可选）进行批次排程。 在专用工艺槽进行多步骤处理（例如超声波和兆声波槽、级联或快排冲洗槽）、化学品计量和监控（可选）、专为产品打造的多重 RENA 干燥解决方案，例如 Genesis Marangoni 干燥。坚固又可靠的传送机器人。 所有 RENA 系统皆可用，符合工厂设备的 SECS/GEM 界面。Evolution 为特定工艺需求量身打造。 特点与优势 全自动，干对干运行 100 mm 至 200mm 晶圆尺寸 25、50 和 100 个晶圆批次 IDX Flexware 控制软件 同步批次与配方 高级工艺监控 集成式 HMI 触控屏 SECS/GEM 界面选项 内置式 1 级净室 不锈钢款适合溶剂应用 灵活可升级 依据客户规范量身打造 提升运行时间与处理量 延长化学品与槽体寿命 减少化学品与去离子水使用 降低设备成本