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晶圆清洁系统
自动半导体工业

晶圆清洁系统 - RENA Technologies GmbH - 水 / 自动 / 半导体工业
晶圆清洁系统 - RENA Technologies GmbH - 水 / 自动 / 半导体工业
晶圆清洁系统 - RENA Technologies GmbH - 水 / 自动 / 半导体工业 - 图像 - 2
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产品规格型号

技术
运行模式
自动
应用
半导体工业, 晶圆

产品介绍

洁净晶圆是优良半导体制品之基础。这款全自动 RENA 最终清洁系统为晶圆制备最后步骤提供高品质表面。成熟工艺与先进排程使其成为高要求、大处理量半导体晶圆生产的完美解决方案。 特点与优势 表面洁净度出众,晶圆不超过 300 mm 全自动 LMC 载玻片处理或无载体 借助 RENA Marangoni 干燥机完善修整 标准 SEMI 界面,便于晶圆厂集成
* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。