PVA Te... 物理气相传输(pvt)系统 baSiC-T 是专为碳化硅(SiC)晶体生长而设计的,采用源粉末在高温下升华的方式。baSiC-T 系统的设计基于模块化概念,允许使用直径达 6´´ 的基底(种子)。
新一代 SiC PVT 晶体生长炉
专为电力电子应用而设计
大规模生产的高自动化水平
提供工厂管理软件解决方案
占地面积小,布局紧凑
可用于 4´ 和 6´ 英寸
使用经过现场验证的线圈设计进行感应加热
功耗低(约 10KW @ 2,200 °C 稳定控制)
热区移动装载/卸载概念
卓越的控制系统
高度自动化的直观操作
具有增强趋势功能的过程可视化
离线配方设置解决方案,通过参数集提供大量配方选项
长期过程数据记录和长期数据检索
控制系统和可视化系统独立运行(安全概念)
可通过参数组配置的系统控制回路
卓越的安全理念
符合 CE 标准
不同级别的系统安全组件确保操作安全
质量测量和扩展质量文档
与客户、机构和部件供应商密切合作
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