气体收集系统 ArgonØ ™

真空

ArgonØ ™在有限的工艺工具的闭合循环中回收气体，这比潜在的工厂范围内的安装有很大的优势，可以轻松、直接地改装到现有的晶圆制造厂，并允许分阶段安装，与工艺工具一致，进入新的 "地面 "设施。 ArgonØ ™将>95%的炉子废气回收到工艺中，其纯度超过了Semi PV6-1110的要求，在工艺中去除1000ppm的污染。 ArgonØ ™设计用于回收、净化和循环来自真空炉（包括CZ和DS）的净化气体，用于生长硅锭以继续制造晶体太阳能电池。该系统能独特地应对用于疏散炉子的油封和干式真空泵，并利用与剑桥大学联合开发的技术，使回收率至少达到95%。回收的氩气纯度超过了SEMI PV6-1110。 该系统是使用点，可以连接到多个真空炉，最大的回收流量限制约为15Nm3/hr，可以直接改装到目前的真空炉，并与新机构的真空炉安装相配合，分阶段安装。 ArgonØ ™的投资回报率（ROI）为2-3年，代表了卓越的性价比，如果氦气也被回收，投资回报率进一步提高，通常为6-12个月。此外，ArgonØ ™每年可减少典型真空炉的二氧化碳排放量3-5吨，并改善供应安全。