电流发生器 Bias

电压RF 无线电频率

射频等离子体系统专用偏压波形发生器 浦卓在等离子体发生器中引入了中断式能量分配技术，为等离子体发生器提供了量身定制的能量分配。定制的波形输出提供独立的电流和电压控制，并实时测量。与传统的射频偏压相比，鞘层离子能量的直接控制大大提高了刻蚀和沉积过程的控制和精度，使离子能量分布能够定制，允许非常窄的分布和尾部消除。这将优化处理速度和对敏感特性的最大选择性。它还降低了偏压的能耗，提高了系统相对于传统技术的效率。 可根据要求提供规格。 带尾部消除的窄离子能量分布 通过实时波形监控最大程度地控制偏置条件 与传统射频系统快速集成 专有的波形自动调谐 等离子体发生器偏置视频 这个视频示意图展示了定制波形偏置是如何工作的。