气体分析仪 TIGER OPTICS™ T-I MAX™

氢氯监控

新一代微量氯化氢气体分析仪 当你在设备最终测试阶段发现灾难性的产品性能或产量损失时，你可以花很长时间 "寻找 "空气中的分子污染物（AMC）；或者你可以部署我们的TIGER OPTICS™ T-I Max™ HCl分析仪来定位和监测这些看不见的缺陷产生者，这些缺陷通常潜伏在设备、人员、晶圆载体和洁净室托架内及周围。 在当今先进的半导体加工过程中，从各种材料、加速加工操作以及基片存储和运输中散发出来的残留气体、蒸汽和化学品已经成为一个关键的问题。以至于国际半导体技术路线图（ITRS）现在强调AMC污染是实现和维持设备低缺陷率的一个关键技术挑战。 由于特别关注AMC "化学污染 "要素的主要贡献者，基于我们新的全球平台的T-I Max HCl分析仪能够以前所未有的灵敏度、选择性和反应速度的组合检测和连续监测HCl。 我们用于AMC的GO-cart通过提供一个可以快速移动到不同关键监测点的移动平台，增加了额外的灵活性。 益处 敏感的绝对测量技术，采用腔体环降光谱法（CRDS）。 大幅提高反应速度和万亿分之一的检测极限 无漂移，校准可追溯至世界领先的参考实验室 最低的拥有成本 - 免维护