CO分析仪 VeraSpec™ APIMS-SX5

气体CH4水

半导体制造商需要有能力持续地实时验证工艺气体的纯度，并检测浓度低至万亿分之一（ppt）的微量污染。 监测广泛的气体和气体混合物，其稳定性可提供大多数应用所需的长期可重复性。 请咨询我们的APIMS SX5，它具有流交换器功能。 -用于监测超高纯度大宗气体的优雅气流切换。 实时、多品种监测所有的关键气体。 大宗电子气体中的杂质，包括微量O2、H2、H2O、CH4等、 H2, H2O, CH4, CO, CO2, N2, Ar等。 - 新的!可选的自动气流切换功能 与SX5气流切换器气柜。 在最多五种大宗气体之间自动循环! - 无与伦比的测量范围，从PPT到100%，独特的双源电离配置 - 易于使用的集成用户界面和预定的自动校准 - 业界最佳的客户支持和应用团队