大尺寸位移台 H116XY 轴机动双轴
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产品规格型号
- 方向定位
- XY 轴
- 类型
- 机动
- 轴数量
- 双轴
- 其他特性
- 工业, 用于显微镜, 长冲程, 用于重载荷, 带内置步进电动机, 大尺寸, 滚珠丝杠
- 运行行程
最少: 215 mm
(8.465 in)最多: 256 mm
(10.079 in)- 速度
40 mm/s
- 重复精度
2 µm
- 载荷
最少: 0 kg
(0 lb)最多: 25 kg
(55.12 lb)
产品介绍
H116载物台适用于大多数大型显微镜，并且可以轻松容纳8英寸（200毫米）的晶圆和各种大型标本，非常适合扫描各种半导体晶圆、光掩膜、平板显示器以及印刷电路板。
• 适用于大多数主流品牌显微镜。
• 1μm甚至更高的重复精度
• 安静、可靠
• 多种晶圆支架。
• 255mm x 215mm（10“x8.5”）行程
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