显微镜位移台 H112XY 轴机动双轴
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产品规格型号
- 方向定位
- XY 轴
- 类型
- 机动
- 轴数量
- 双轴
- 其他特性
- 工业, 用于显微镜, 长冲程, 带内置步进电动机
- 运行行程
302 mm
(11.89 in)- 速度
40 mm/s
- 重复精度
0.7 µm
- 载荷
最多: 25 kg
(55.12 lb)最少: 0 kg
(0 lb)
产品介绍
H112载物台非常适合扫描各种半导体晶圆、光掩膜、平板显示器以及印刷电路板。H112可轻松容纳12英寸（300毫米）晶圆，并可与各种晶圆装载机械臂配合使用。另外，H112可用于250 mm x 250 mm透射区域的透射光应用。
• 适用于大多数主流品牌显微镜。
• 1μm甚至更高的重复精度
• 可选的100nm线性标尺可提供最高的分辨率。
• 多种晶圆支架
• 302毫米x 302毫米（12″x12″）行程
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