离子源

设计先进，结构简单实用，安装维护方便，运行成本低，离子束电流大，满足等离子体处理和辅助的要求，可与各种沉积系统配套，成为高端镀膜机的优秀配套单元。 有效去除工件表面的水分子和碳氢化合物；改善薄膜生长，优化薄膜结构；提高薄膜的一致性和可重复性。