气体过滤器 GasPro ™ TEM-2260 series

芯式工艺流程不锈钢

新产品发布。GasPro ™ TEM-2260高流量PTFE 316L在线过滤器。 GasPro ™ TEM-2260 系列过滤器专门设计用于过滤需要超高流速的半导体气体。在需要高流速且空间有限的情况下，该全焊接组件可提供0.003微米的颗粒保留率。 聚四氟乙烯膜和聚丙烯支撑的滤芯装在316L不锈钢电抛光焊接的外壳中。最后装配时用过滤的氮气吹扫，以达到初始清洁度。 应用包括： - 一般和加工惰性设施气体。 - 洁净干燥空气(CDA*)用于关键工艺，包括前开统一舱(FOUP)清洁和光刻。 查看数据表，了解更多信息。