- 计量设备、实验室仪器
- 实验室设备
- 光学显微镜
- Polytec
光学显微镜 MSA-100-3D用于 MEMS3D小型
添加到我的收藏夹
添加到产品对比表
产品规格型号
- 分类
- 光学
- 专业应用类型
- 用于 MEMS
- 观测技术
- 3D
- 配置
- 小型
- 光源
- 激光
产品介绍
MEMS 和微系统的3D 振动测量
实物振动通常是三维振动。诚然，您可选择优先显示某特定方向的振动，但由于存在产品公差和其它影响，其它空间方向也会产生运动分量。 MSA-100-3D 显微系统分析可在大带宽范围内实时测量样本的动态特性，高分辨率同时记录和分析XYZ三个方向的振动分量，每向的振幅分辨率均达到亚皮米级
实时振动测量，高达 25 MHz 的大带宽
用于面外和面内振动测量，振幅分辨率达亚皮米级
单点式和全场扫描式振动测量
激光光斑小于 4光斑，横向分辨率极高
测试距离大，可达38 mm
可与普通 MEMS 探针测试台兼容
