光学显微镜 MSA-600

测量用于 MEMS实时

测量MEMS系统的3D动态特性及形貌特性 表面形貌、动态特性分析及可视化是显微结构（如MEMS器件）测试和开发的关键。这对于验证有限元算法、确定串扰影响和测量表面形变等都至关重要。 MSA-600-M/V型的测量带宽高达25MHz，适用于MEMS、MEMS麦克风和其它微系统的振动测试。 全新研发的MSA-600-X/U型的测量带宽更是高达2.5GHz，尤其适用于高频MEMS谐振器、微声器件如SAW、BAW等振动测试。 全球首发: 全新推出的专业的光学测试工作站MSA-600-S终于和用户见面啦！MSA-600-S可用于结构振动测试和表面形貌测试。MSA-600-S可测试高频设备，如FBAR(薄膜体声谐振器)，以及其它GHz谐振器和设备。