自动试验机 MSA-600

光学MEMS模块化

用于半导体和微结构的三维光学测试站 这个综合光学工作站为微结构和MEMS（微机电系统）设备的质量控制、测试和开发提供表面形貌和动态运动分析。可视化和三维数据对于有限元验证、串扰确定、表面剖析和形状参数评估至关重要。 测量宝石和微结构的动态响应和三维形貌 MSA-600-M/V版本覆盖的频率范围高达25MHz，非常适合测试MEMS、MEMS麦克风和其他微系统。更高频率版本的MSA-600-X/U覆盖的频率范围高达2.5 GHz，是研究高频射频MEMS谐振器、微声器件如SAW、BAW等的理想选择。 亮点 - 用于微观结构的多合一光学测量站 - 实时反应测量（不需要后期处理） - 无与伦比的亚毫米级位移分辨率 - 挠度模式的快速测量和可视化 - 简单而直观的操作 - 易于集成到测量站的自动化系统 - 用于FE模型验证的导入/导出选项 要求进行演示、可行性研究、发送您的MEMS样品或从远程和现场支持中获益，整合到测量站和生产线上。请与我们联系!