PVD镀膜机 S-MPuls

...TIT S-MPuls 涂层装置是专门为抛光表面（如冲头、邮票、模具或铸币）开发的涂层装置。 为了使无缺陷表面满足最高要求，需要进行有效的蚀刻。因此，我们使用标准偏置电压脉冲氩气蚀刻以及我们的专利 LGD®（侧面辉光放电）工艺。对表面进行清洁并激活粘合剂层。 通过使用我们的溅射涂层技术，涂层工具可再现原始加工表面结构，不会出现缺陷和偏差。涂层分布通过一个特殊的磁场实现均匀化。因此，涂层质量高，成像精度近乎完美。 S-MPuls 涂层装置中的夹具可根据具体应用进行定制。由于您可能需要对不同几何形状的刀具直径进行涂层，因此可以通过附加环来调整夹具。在这种情况下，有必要提供一个支架，以防止工具表面被灰尘污染。根据这一要求，工具要倒置，面向安装在腔室底部的靶件。不过，更换靶标也很方便快捷。 S-MPuls 是我们产品组合中最小的镀膜装置，对于 2 至 2.5 μm 的镀膜厚度，周期时间不超过 3 小时。 技术 带旋转磁场的脉冲直流磁控溅射阴极 溅射源位于腔体底部 蚀刻工艺 ...TIT S-MPuls 溅射镀膜装置有两种蚀刻工艺： LGD® （侧面辉光放电） 氩气等离子蚀刻，辉光放电，带辅助阳极