PVD镀膜机 Mega-PiMS

溅射

PLATIT Mega-PiMS涂层设备是专为旋转组件的涂层而开发的。目的是在高亮度抛光的表面或纹理表面上涂敷光滑涂层，为此我们使用了先进的溅射技术。 对于我们的标准涂层设备来说，压辊和拉刀通常都太大或太重。Mega PiMS涂层设备还经过特殊尺寸设计，以满足这些工件的特殊要求。我们开发了设计和操作概念，允许您灵活地调整涂层设备以适应工件的重量和尺寸。因此，刀具或工件的尺寸可以从ø100 x 450mm到ø600 x 3000mm。最大均匀涂层长度为2000mm，可涂层工件最重可达1000kg。 该设备易于使用，并提供最高水平的用户舒适度。装载过程已经大大简化，靶材的更换也快速简易。 为了给您提供特别大的腔室容积，Mega PiMS的真空系统做了进一步的改进。阴极位于涂层室的底部，通过这种方式，可以实现真空室中涂层厚度的最佳分布，同时最大限度地提高待涂层工件的可用空间。它们水平放置，并在靶材上方旋转。 要涂覆的刀具和工件通常由热敏钢和高速钢制成，对温度非常敏感。因此，Mega PiMS涂层设备是专门为低温过程设计的。 即便该设备是定制设备，但使用标准备件能确保设备易于维护-这使我们能够保证您常规的高质量服务。 技术 1支溅射阴极位于腔室底部 1支阳极位于阴极对面 运用到的刻蚀技术 PLATIT Mega-PiMS涂层设备有两种蚀刻技术： LGD® (侧向辉光放电) Ar 辉光放电的等离子体刻蚀 装载和运行周期 最大涂层区域：ø 600 x H 3000 mm 能确保涂层厚度均匀性的最大涂层区域：ø 600 x L 2000 mm 最大载重：1000 kg (按要求增加载重)