PVD镀膜机 Pi1511

Pi1511是一台大容量的PVD涂层设备。它在门上配置了三支旋转的PLATIT LARC®XL阴极，在腔室后方配置两支平面电弧阴极。 柱状阴极与高性能平面阴极的结合，使沉积的PLATIT特征涂层具有高度的灵活性。LARC®XL阴极具有很长的使用寿命，从而保证了单支刀具上的低涂层成本。 技术 在门上的3 支 LARC® XL (侧向旋转超长阴极) 在腔室后方的2 支 平面阴极用于电弧涂层 用于磁场自动调节的MAC-3C(磁弧约束-线圈电流补偿 快速阴极更换 沉积选择的PLATIT代表性涂层 运用到的刻蚀技术 几种蚀刻技术都可在Pi1511涂层设备使用，各具优点： LGD® (侧向辉光放电) Ar 辉光放电的等离子体刻蚀 金属离子刻蚀 (Ti, Cr) 装载和运行周期 最大涂层区域：ø 715 x H 805 mm 获得指定涂层厚度的最大涂层高度：711 mm 最大载重：750 kg，根据要求增加载重 最高3炉/天 模块化转车系统 1-12轴转车 软件 PLATIT的智能系统 (PC和PLC系统) 使用和维护简单 现代化的用户界面，触摸屏菜单导航 实时流程可视化，包括数据记录和数据管理 手动和自动的过程控制 远程诊断和维护 设备尺寸 外观尺寸：5000 x 2200 x 2500mm (宽×深×高)