真空镀膜系统

一个以机器人为动力的多室系统，用于在低压环境下进行最复杂的喷涂工艺。 尺寸。 - 长：2000mm 宽：1800mm 高：2000mm 重量：- ~ 320 KG 体积: - 50升 3个加工室。 - VA 长：300 宽：300 高：300 等离子体源：- 2,45 GHz, 1200 Watt / 13,56 MHz, 600 Watt 包括：- 3x3个气体通道（处理室内部的气体分配系统）。 另外：- 空气锁机器人，例如空气锁的基片支架 基片支架（可选）。 - 铝制，可定制设计 真空连接：- DN 63 ISO-KF 排气：- 电磁阀 3 泵系统。 - 40m³/h 舱门。 - 维修室门