真空镀膜系统 Series 3000 LV 800/1000

这就是Parylene系统。它是一个模块化系统，分为两部分：腔体模块和蒸发器模块。 尺寸。 - 长：2600毫米 宽：960 高：1460毫米 重量：- ~ 450 KG 容积：- 800 / 1000升 工艺室：- 1150mm Ø H: 600mm（800升），1000mm Ø H: 1100 等离子体源: - 2,45GHz, 1200 Watt 包括： - 1个气体通道（加工室内部的气体分配系统），最多可以有3个通道 冷却系统：- 8升（机电式冷却器）。 真空连接：- DIN 63 ISO-KF 排气：- 电磁阀 泵系统: - 75m³/h 电气连接：- 3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5千瓦