真空镀膜系统 Series 3000 LV 600/700

这就是Parylene系统。它是一个模块化系统，分为两部分：腔体模块和蒸发器模块。 尺寸。 - 长：2400mm 宽：960 高：1460mm 重量：- ~ 350 KG 容积：- 600 / 700 升 工艺室：- 800mm Ø H: 1100mm (600升) / 1300mm (700升) 等离子体源：- 2,45GHz, 1200 Watt 包括：- 1个气体通道（加工室内部的气体分配系统），最多可以有3个通道 冷却系统：- 8升（机电式冷阱）。 真空连接：- DIN 63 ISO-KF 排气：- 电磁阀 泵系统: - 75m³/h 电气连接：- 3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5千瓦