真空镀膜系统 Series 3000

为工业用途而制造。一个经过彻底测试的系统，可以满足大量和苛刻的生产量。 2000系列（无等离子体）3000系列的标准生产工具，有等离子体支持。 模块化的装配和可变的腔体大小使这一经过彻底测试的生产和镀膜机与众不同。 为工业用途而制造。 通过较大的腔体，可以满足大量和苛刻的生产量。 尺寸。 - 长：2095mm 宽：800 高：1450mm 重量：- ~ 300 KG 容积：- 140/200/300/600/750/800/1000 Liter 工艺室：- 500毫米直径H：700毫米（140升），600毫米直径/H：700毫米（200升），700毫米直径，H：800毫米（300升） 等离子体源：- 2,45GHz, 1200 Watt 包括：- 1个气体通道（加工室内部的气体分配系统），最多可以有3个通道 冷却系统：- 8升（机电式冷却器）。 真空连接：- DIN 40 ISO-KF 排气：- 电磁阀 泵系统：- 75m³/h 电气连接：- 3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5千瓦