多功能系统,为实验室工作进行了优化,带有用于表面预处理的内置等离子体源。
用于实验室和生产设施的实验室涂层机。
为小型公司和生产团队而优化。
可选的设备使该实验室coater成为一台非常通用的机器,其加工室容积可变,从25升开始。
内置等离子体源。
也可作为洁净室版本。
有4种不同的体积可供选择。
尺寸。 -
长:1220mm 宽:1050mm 高:1920mm
重量: -
110 KG
容积:-
25 / 35 / 40 / 80 升
工艺室:-
300毫米直径H:300毫米(25升),300毫米直径/H:350毫米(35升),450毫米直径,H:500毫米(80)升
等离子体源:-
2,45GHz,600瓦
包括:-
1个气体通道(加工室内部的气体分配系统),最多可以有3个通道
冷却系统:-
4升(机电式冷阱)。
真空连接:-
DIN 40 ISO-KF
排气:-
电磁阀
泵系统:-
50m³/h
电气连接:-
3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5千瓦
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