涂布复合系统 AL 900

修改后的机器。 尺寸。 - 长：550mm 宽：1900mm 高：900mm 重量: - 180KG 体积: - 250升 处理室：- 铝制，带面板支架。 面板支架:L: 400mm B: 650mm H: 800mm 电路板：可容纳4/5个面板，尺寸为18x24 "或20x24"。 LF-输出（低频）。 - 工作频率=40KHz，最高可达2000瓦 微波输出。 - 2,45 GHz / 50 - 1200 Watt 包括： - 1个气体通道（加工室内部的气体分配系统），最多可以有6个通道 基片支架（可选）。 - 铝制，可定制设计 真空连接：- DN 63 ISO-KF 排气：- 电磁阀 泵系统：- 高达250m³/h 室门。 - 铰链式，带观察口