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涂布复合系统 Q 240

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产品介绍

这是我们Q系列中最大的系统。非常适合直径达200毫米的多个晶圆。 尺寸。 - 长:760毫米 宽:775毫米 高:775毫米 重量: - 100 KG 体积: - 20升 工艺室:- 石英玻璃,240毫米直径,B:450毫米 微波输出。 - 2,45 GHz / 50 - 1200 Watt 包括: - 1个气体通道(加工室内部的气体分配系统),最多可以有3个通道 基片支架(可选)。 - 铝制,可定制设计 真空连接:- DN40 ISO-KF 排气:- 电磁阀 泵系统:- 高达40m³/h 室门。 - 你可以选择带观察口的铰链式和带支撑杆的抽屉式门。 晶片尺寸:- 高达200毫米,数量为50个晶圆

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* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。