这是我们Q系列中最大的系统。非常适合直径达200毫米的多个晶圆。
尺寸。 -
长:760毫米 宽:775毫米 高:775毫米
重量: -
100 KG
体积: -
20升
工艺室:-
石英玻璃,240毫米直径,B:450毫米
微波输出。 -
2,45 GHz / 50 - 1200 Watt
包括: -
1个气体通道(加工室内部的气体分配系统),最多可以有3个通道
基片支架(可选)。 -
铝制,可定制设计
真空连接:-
DN40 ISO-KF
排气:-
电磁阀
泵系统:-
高达40m³/h
室门。 -
你可以选择带观察口的铰链式和带支撑杆的抽屉式门。
晶片尺寸:-
高达200毫米,数量为50个晶圆
---