涂布复合系统 Q 240S

该系统的直径与我们的Q240相同，但为了节省空间而减少了腔体深度。 尺寸。 - 长：620毫米 宽：550毫米 高：500毫米 重量: - 75KG 容积：- 9升 工艺室: - 石英玻璃，240毫米直径，B: 244毫米 微波输出。 - 2,45 GHz / 50 - 1200 Watt 包括： - 1个气体通道（加工室内部的气体分配系统），最多可以有3个通道 基片支架（可选）。 - 铝制，可定制设计 真空连接：- DN40 ISO-KF 排气：- 电磁阀 泵系统：- 高达25m³/h 室门。 - 你可以选择带观察口的铰链式和带支撑杆的抽屉式门。 晶片尺寸：- 最大150毫米，数量为25个晶圆