涂布复合系统 series Q

Q代表的是石英玻璃室。 Q系列的等离子体设备大多用于半导体技术以及分析和医疗技术领域。 应用实例。微型机械中有机样品和清漆的清洗和焚烧，以及半导体工业中硅片的清洗和焚烧。