我们所能提供的绝对最大的AL系统。适用于最大的基材和数量。
尺寸。 -
长:1200mm 宽:900mm 高:1800mm
重量:-
300KG
体积: -
800升
工艺室: -
l: 900 w: 920 h: 900
微波输出。 -
2,45 GHz / 50 - 1200 Watt
包括: -
1个气体通道(加工室内部的气体分配系统),最多可以有3个通道
基片支架(可选)。 -
铝制,可定制设计
真空连接:-
DN 63 ISO-KF
排气:-
电磁阀
泵系统:-
高达250m³/h
室门。 -
你可以选择带观察孔的铰链式门、抽屉式门或通用门
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