涂布复合系统 AL series

所需的基材尺寸或加工速度。 尺寸。 - 长：1050mm 宽：800mm 高：2020mm 重量：- 195 KG 容积：- 140/160/300升 工艺室：- 铝制，长：400mm，宽：480mm，高：520mm 微波输出。 - 2,45 GHz / 50 - 1200 瓦特 包括： - 1个气体通道（加工室内部的气体分配系统），最多可以有3个通道 基片支架（可选）。 - 铝制，可定制设计 真空连接：- DN 63 ISO-KF 排气：- 电磁阀 泵系统：- 高达250m³/h（集成）。 室门。 - 你可以选择带观察口的铰链式门、抽屉式门或通用门