涂布复合系统 AL 76

一个为小型生产设施和实验室设计的节省空间的系统。有紧凑型和台式两种形式。 尺寸。 - 长：770毫米 宽：780毫米 高：780毫米 重量: - 80 KG 体积: - 76升 工艺室：- 铝制，长：400mm，宽：480mm，高：400mm 微波输出。 - 2,45 GHz / 50 - 1200 Watt 包括： - 1个气体通道（加工室内部的气体分配系统），最多可以有3个通道 基片支架（可选）。 - 铝制，可定制设计 真空连接：- DN40 ISO-KF 排气：- 电磁阀 泵系统：- 高达250m³/h 室门。 - 你可以选择带观察孔的铰链式门、抽屉式门或通用门