涂布复合系统 AL 36

AL18的稍大版本，有更多的选择和负载能力。 尺寸。 - 长：680毫米 宽：630毫米 高：650毫米 重量: - 110 KG 体积: - 36升 工艺室：- 铝，长：350毫米，宽：320毫米，高：320毫米 微波输出。 - 2,45 GHz / 50 - 1200 瓦特 包括： - 1个气体通道（加工室内部的气体分配系统），最多可以有3个通道 基片支架（可选）。 - 铝制，可定制设计 真空连接：- DN25 ISO-KF 排气：- 电磁阀 泵系统: - 15-65 m³/h 室门。 - 铰链式，带观察口