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涂布复合系统
Plasma Parylene Systems
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涂布复合系统
AL 18
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产品介绍
尺寸。 - 长:530mm 宽:600mm 高:550mm 重量: - 80 KG 体积: - 18升 工艺室:- 铝,长:250毫米,宽:290毫米,高:250毫米 微波输出。 - 2,45 GHz / 50 - 1200 Watt 包括: - 1个气体通道(加工室内部的气体分配系统),最多可以有3个通道 基片支架(可选)。 - 铝制,可定制设计 真空连接:- DN25 ISO-KF 排气:- 电磁阀 泵系统: - 15-35 m³/h 室门。 - 铰链式,带观察口
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