XY轴定位台 PENTOR

Z轴电动5轴

特点： 三轴转换系统和双轴倾斜系统的组合 直径 17 mm 的自由中心孔 集成预载荷 转换每个轴：高达 100 µm 每个方向倾斜：± 2 mrad 固态弯曲铰链，采用平行边形设计，无需机械 玩 选项：集成测量系统 光学级通常需要一个开放的中央空间（例如用于通过光）。 对于这些应用，PENTOR 翻译和倾斜系统采用一个 17 mm 自由中心孔。 它提供 100 µm 的 x、y 和 z 方向的运动，并在两个正交轴 (j, q) 上倾斜 ± 2 mrad。 用于三个平移轴的柔性铰链保证在这个舞台的行驶范围内实现最高程度的并行性。 每个轴都有一个内置的集成式机械预载荷，使 5 轴压电定位器 PENTOR 非常适用于动态应用。 倾斜部分专为加减倾斜而设计。