用于低温和超高压环境的紧凑型执行器
- 适用于10-9 hPa的UHV环境
- 适用于低温环境
- 极端可靠。>109次循环
- 皮米级分辨率
- 微秒响应时间
压电式剪切推杆
工作电压-250至250V。适合在低温和UHV环境下使用,达到10-9hPa。横向位移是基于压电剪切效应。优秀的动态性能,对电力的要求最低。
用于多轴运动的变体,也有带内孔的。
应用的领域
- 工业和研究
- 低温/真空环境至10-9 hPa
- 扫描应用
- 显微镜
- 精密机械学
- 开关应用
可能的修改
- 压电陶瓷材料
- 非磁性版本
- 工作电压范围、位移、层厚、截面尺寸
- 负载能力,力的产生
- 机械接口:平面、球面、金属、陶瓷、玻璃、蓝宝石等。
- 超严格的长度公差
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